Sputtering by particle bombardment I : physical sputtering of single-element solids

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Библиографические подробности
Другие авторы: Behrisch, Rainer, 1934-2011 (Редактор)
Формат: Livre numérique
Язык:Anglais
Опубликовано: Berlin [etc.] : Springer-Verlag : Springer e-books [20..].
Cham : Springer Nature
Серии:Topics in applied physics 47
Предметы:
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Примечание: Archives Springer e-books (Licence nationale)
Archives Springer e-books (Licence nationale)
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Edition sous un autre format:• Sputtering by particle bombardment, ed. by R. Behrisch, 1, Physical sputtering of single-element solids, with contributions by H.H. Andersen... [et al.], 1981, Berlin [etc.], Springer, 1 vol. (X-281 p.), Topics in applied physics, 3-540-10521-2
• Sputtering by Particle Bombardment I, Texte imprimé, 9783662308875
• Sputtering by Particle Bombardment I, Texte imprimé, 9783662308882
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505 0 |a and overview -- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts -- Theoretical aspects of monocrystal sputtering -- Sputtering yield measurements -- Sputtering yields of single crystalline targets. 
506 |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales 
506 |a Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement 
506 |a Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. https://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 
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