Sputtering by particle bombardment II : sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography

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Autres auteurs: Behrisch, Rainer, 1934-2011 (Éditeur intellectuel)
Format: Livre numérique
Langue:Anglais
Publié: Berlin [etc.] : Springer-Verlag : Springer e-books [20..].
Cham : Springer Nature
Collection:Topics in applied physics 52
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Note: Archives Springer e-books (Licence nationale)
Archives Springer e-books (Licence nationale)
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Edition sous un autre format:• Sputtering by particle bombardment, ed. by R. Behrisch, 2, Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography, with contributions by R. Behrisch... [et al.], Berlin [etc.], Springer, 1983, 1 volume (XII-391 p.), Topics in applied physics, 3-540-12593-0
• Sputtering by Particle Bombardment II, Texte imprimé, 9783662311684
• Sputtering by Particle Bombardment II, Texte imprimé, 9783662311691
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505 0 |a and overview -- Sputtering of multicomponent materials -- Chemical sputtering -- Sputtering by electrons and photons -- Sputtering of solids with neutrons -- Heavy ion sputtering induced surface topography development -- Development of surface topography due to gas ion implantation. 
506 |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales 
506 |a Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement 
506 |a Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. https://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 
650 |a Pulvérisation cathodique 
650 |a Physique de l'état solide 
650 |a Physique 
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