Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology
This monograph presents an up to date perspective of gas discharge physics and its applications to various industries. It starts from a comprehensive overview of the different types to generate plasmas by DC discharges, capacitive and inductive radiofrequency coupling, helicon waves including electr...
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| Hovedforfatter: | Franz, Gerhard |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprog: | Anglais |
| Udgivet: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg : Springer e-books
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Online adgang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Kommentar: |
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| Edition sous un autre format: | • Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology, Texte imprimé, 9783540858485 |
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