MEMS/NEMS : Handbook Techniques and Applications
Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common silicon substrate. While the electronics are fabricated using integrated circuit (IC) process sequences (e.g., CMOS, Bipolar, or BICMOS processes), the micromechanical c...
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Language: | Anglais |
| Published: |
New York, NY :
Springer US
2006.
Cham : Springer Nature |
| Online Access: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Note: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Mems/Nems, Texte imprimé, 9780387505213 • Mems/Nems, Texte imprimé, 9780387245201 • Mems/Nems, Texte imprimé, 9781489977397 |