CMOS hotplate chemical microsensors
This is the first comprehensive book on microhotplate-based chemical sensor systems in CMOS-technology. It covers all aspects of successful sensor prototyping: theory of transducer modelling, microelectronics design considerations, system design issues, and issues related to system and device microf...
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| Auteurs principaux: | , , , |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprog: | Anglais |
| Udgivet: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Udgivelse: | 1st ed. 2007. |
| Serier: | Microtechnology and MEMS
|
| Online adgang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Kommentar: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • CMOS Hotplate Chemical Microsensors, Texte imprimé, 9783540695615 • CMOS Hotplate Chemical Microsensors, Texte imprimé, 9783540834748 • CMOS Hotplate Chemical Microsensors, Texte imprimé, 9783642089107 |
Indholdsfortegnelse:
- Miniaturized Metal-Oxide Sensors Thermal Modelling of CMOS Microhotplates Microhotplates in CMOS Technology Monolithic Gas Sensor Systems Microsensor Arrays Conclusion and Outlook