La formation et le transport des particules dans le plasma froid
Les plasma poudreux sont des plasmas qui contiennent des particules solides dont les tailles vont quelques nanomètres à quelques dizaines de micromètres. La présence de ces particules solides, dans les plasmas, a été découverte dans les procédés de l'industrie de microélectronique. Les particul...
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| Altres autors: | , , , , |
| Format: | Thèse numérique |
| Idioma: | Français |
| Publicat: |
2020.
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| Matèries: | |
| Accés en línia: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2020ORLE3029_va.pdf http://www.theses.fr/2020ORLE3029/abes https://theses.hal.science/tel-03124143 |
| Nota: |
Thèse soutenue en co-tutelle Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Toshiyuki Isshiki (Président du jury) ; Yasuhiro Awatsuji, Mikael Motelica-Heino (Membre(s) du jury) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Formation and transport of particles in low temperature plasmas |