Silicon processing for the VLSI era

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Podrobná bibliografie
Hlavní autoři: Wolf, Stanley, 1943-, Tauber, Richard N. (Autor)
Médium: Livre papier
Jazyk:Anglais
Vydáno: Sunset Beach, California : Lattice Press cop. 1986-...
Témata:
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
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100 1 |a Wolf, Stanley,  |d 1943- 
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260 |a Sunset Beach, California :  |b Lattice Press,  |c cop. 1986-... 
300 |a 3 vol. (XXIV-660 p., XXXI-753 p.) ;  |c 25 cm +   |e homework problems & errata (vol.2, 11 p.). 
504 |a Notes bibliogr. Index 
650 |a Circuits intégrés à très grande échelle 
650 |a Silicium cristallisé 
700 1 |a Tauber, Richard N.  |4 aut 
505 0 |t Process technology  |g 1 
505 0 |t Process integration  |g 2 
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997 |0 443590  |1 Livre papier  |a Ressource papier  |b INSA  |c 0/Blois/  |c 1/Blois/INSA CVL/  |z Blois, INSA CVL, 621.3 WOL 
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