Chimie en microélectronique
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| Formaat: | Livre papier |
| Taal: | Français |
| Gepubliceerd in: |
Paris :
Hermes science : Lavoisier
DL 2013.
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| Reeks: | Micro et nano électronique et systèmes. Recherche, technologie, applications
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| Onderwerpen: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
Inhoudsopgave:
- Introduction
- Chapitre 1. La chimie en Front End Of the Line (FEOL) : dépôts, empilements de grilles, épitaxies et contacts
- 1.1. Introduction.
- 1.2. Empilements de grilles.
- 1.3. La chimie impliquée dans les matériaux cristallins.
- 1.4. Les contacts au niveau de la grille et des zones Source et Drain .
- 1.5. Conclusion.
- 1.6. Bibliographie.
- Chapitre 2. La chimie dans les interconnexions
- 2.1. Introduction.
- 2.2. Interconnexions : généralités et historiques.
- 2.3. Dépôts des diélectriques.
- 2.4. Dépôt et propriétés des couches métalliques pour les structures d interconnexions.
- 2.5. Procédé de nettoyage des interconnexions cuivre.
- 2.6. Conclusion.
- 2.7. Bibliographie.
- Chapitre 3. Chimie de la préparation des surfaces par voie humide : nettoyage, attaque chimique et séchage
- 3.1. Introduction.
- 3.2. Nettoyage.
- 3.3. Attaque chimique par voie humide.
- 3.4. Rinçage et séchage
- 3.5 Conclusion.
- Chapitre 4. Utilisation et gestion des fluides chimiques en microélectronique
- 4.1. Eau ultrapure (EUP).
- 4.2. L utilisation des gaz dans la microélectronique.
- 4.3. Gaz dissous.
- 4.4. Produits chimiques de haute pureté.
- 4.5. Gestion des déchets.
- 4.6. Notations.
- 4.7. Bibliographie.
- Chapitre 5. Fonctionnalisation des surfaces pour micros et nanosystèmes :application pour capteurs chimiques et biologiques
- 5.1. Introduction.
- 5.2. Matériaux.
- 5.3. Procédé de fonctionnalisation.
- 5.4. Immobilisation de molécules et macromolécules.
- 5.5. Applications
- 5.6. Conclusion.
- 5.7. Bibliographie