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| LEADER |
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|a 9782746239180 (rel.) :
|c [98 EUR]
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|a 9782746239180
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| 041 |
0 |
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| 082 |
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|a 621.3
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| 245 |
0 |
0 |
|a Chimie en microélectronique
|c sous la direction de Yannick Le Tiec.
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| 260 |
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|a Paris :
|b Hermes science :
|b Lavoisier,
|c DL 2013.
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| 300 |
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|a 1 vol. (384 p.) :
|b ill. ;
|c 25 cm.
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| 490 |
1 |
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|a Micro et nano électronique et systèmes. Recherche, technologie, applications
|x 2260-412X
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| 504 |
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|a Bibliogr. en fin de chapitres. Index
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| 505 |
0 |
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|a Introduction -- Chapitre 1. La chimie en Front End Of the Line (FEOL) : dépôts, empilements de grilles, épitaxies et contacts -- 1.1. Introduction. -- 1.2. Empilements de grilles. -- 1.3. La chimie impliquée dans les matériaux cristallins. -- 1.4. Les contacts au niveau de la grille et des zones Source et Drain . -- 1.5. Conclusion. -- 1.6. Bibliographie. -- Chapitre 2. La chimie dans les interconnexions -- 2.1. Introduction. -- 2.2. Interconnexions : généralités et historiques. -- 2.3. Dépôts des diélectriques. -- 2.4. Dépôt et propriétés des couches métalliques pour les structures d interconnexions. -- 2.5. Procédé de nettoyage des interconnexions cuivre. -- 2.6. Conclusion. -- 2.7. Bibliographie. -- Chapitre 3. Chimie de la préparation des surfaces par voie humide : nettoyage, attaque chimique et séchage -- 3.1. Introduction. -- 3.2. Nettoyage. -- 3.3. Attaque chimique par voie humide. -- 3.4. Rinçage et séchage -- 3.5 Conclusion. -- Chapitre 4. Utilisation et gestion des fluides chimiques en microélectronique -- 4.1. Eau ultrapure (EUP). -- 4.2. L utilisation des gaz dans la microélectronique. -- 4.3. Gaz dissous. -- 4.4. Produits chimiques de haute pureté. -- 4.5. Gestion des déchets. -- 4.6. Notations. -- 4.7. Bibliographie. -- Chapitre 5. Fonctionnalisation des surfaces pour micros et nanosystèmes :application pour capteurs chimiques et biologiques -- 5.1. Introduction. -- 5.2. Matériaux. -- 5.3. Procédé de fonctionnalisation. -- 5.4. Immobilisation de molécules et macromolécules. -- 5.5. Applications -- 5.6. Conclusion. -- 5.7. Bibliographie
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|a Microélectronique
|x Chimie
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|a Nitruration
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|a Traitements de surface
|x Chimie
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|a Chimie des surfaces
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|a Microélectronique
|x Matériaux
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|a Détecteurs de produits chimiques
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|a Biocapteurs
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|a Procédés de fabrication
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| 650 |
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|a Transistors
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| 700 |
1 |
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|a Le Tiec, Yannick,
|d 19..-
|4 edt
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| 997 |
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|0 441055
|1 Livre papier
|a Ressource papier
|c 0/Châteauroux/
|c 1/Châteauroux/IUT de l'Indre/
|z Châteauroux, IUT de l'Indre, 621.38 CHI
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