Etude des transferts d'énergie lors d'interactions plasma/surface
La connaissance de l énergie transférée aux surfaces en contact avec un plasma basse pression est un paramètre clé pour le contrôle des procédés plasmas basse pression. Sa détermination permet une meilleure compréhension des mécanismes mis en jeu lors du dépôt ou la gravure de couches couches minces...
Enregistré dans:
| Hovedforfatter: | |
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| Andre forfattere: | , |
| Format: | Thèse numérique |
| Sprog: | Français |
| Udgivet: |
2012.
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| Fag: | |
| Online adgang: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2012ORLE2040_va.pdf http://www.theses.fr/2012ORLE2040/abes https://theses.hal.science/tel-00919254 |
| Kommentar: |
Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Sciences et technologies (Orléans ; 2009-2012) Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Mohammed Belmahi (Président du jury) ; Rémi Dussart, Anne-Lise Thomann, Mohammed Belmahi, Tiberiu Minea, Nadjib Semmar, Stephanos Konstantinidis, Pascale Godts (Membre(s) du jury) ; Pierre-Yves Jouan, Tiberiu Minea (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Study of the energy flux during plasma/surface interaction |