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Dépôt de diamant par CVD assistée par plasma micro-onde

Dépôt de diamant par CVD assistée par plasma micro-onde

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	Bou, Pierre
Autres auteurs:	Gautherin, Guy, 19..- (Directeur de thèse)
Format:	Thèse et Mémoire papier
Langue:	Français
Publié:	[S.l.] : [s.n.] 1991.
Sujets:	Dépôt chimique en phase vapeur Plasmas microondes Diamant Thèses et écrits académiques
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc
Variante du titre:	Diamond deposition by microwave plasma assisted CVD

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