Technologie microélectronique : du silicium aux circuits intégrés
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| Autor principal: | |
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| Formato: | Livre papier |
| Idioma: | Français |
| Publicado em: |
Paris :
Ellipses
DL 2008.
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| Colecção: | Technosup : Les filières technologiques des enseignements supérieurs. Supélec
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| Assuntos: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
Sumário:
- I, Introduction à la technologie
- II, Obtention du silicium de qualité microélectronique
- III, Fabrication des plaquettes de silicium
- Chapitres V à X : Étapes technologiques : l'épitaxie, la diffusion, l'implantation ionique, l'oxydation, les dépôts, la gravure, la photolithogravure
- Chapitres XI et XII, Procédés de fabrication : diodes et transistors bipolaires, transistors MOS
- XIII, Amélioration des procédés technologiques
- XIV, Historique et évolution des technologies
- XV, Microélectronique grande surface