Technologie microélectronique : du silicium aux circuits intégrés

Gorde:
Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Bonnaud, Olivier, 19..-
Formatua: Livre papier
Hizkuntza:Français
Argitaratua: Paris : Ellipses DL 2008.
Saila:Technosup : Les filières technologiques des enseignements supérieurs. Supélec
Gaiak:
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
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260 |a Paris :  |b Ellipses,  |c DL 2008. 
300 |a 1 volume (vi-150 pages) :  |b illustrations ;  |c 26 cm. 
490 0 |a Technosup : Les filières technologiques des enseignements supérieurs. Supélec 
504 |a Bibliographie p. 149-150. Index 
505 0 |a I, Introduction à la technologie -- II, Obtention du silicium de qualité microélectronique -- III, Fabrication des plaquettes de silicium -- Chapitres V à X : Étapes technologiques : l'épitaxie, la diffusion, l'implantation ionique, l'oxydation, les dépôts, la gravure, la photolithogravure -- Chapitres XI et XII, Procédés de fabrication : diodes et transistors bipolaires, transistors MOS -- XIII, Amélioration des procédés technologiques -- XIV, Historique et évolution des technologies -- XV, Microélectronique grande surface 
650 |a Microélectronique 
650 |a MOS (électronique) 
650 |a Photolithographie 
650 |a Semiconducteurs 
997 |0 259403  |1 Livre papier  |a Ressource papier  |b INSA  |c 0/Bourges/  |c 1/Bourges/INSA CVL/  |z Bourges, INSA CVL, 621.381 5 BON