Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse :: SCD d'Orléans

Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse

Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	Pauleau, Yves, 1942-
Format:	Livre papier
Langue:	Français
Publié:	Paris : Hermès science publ. : Lavoisier impr. 2004.
Sujets:	Dépôt chimique en phase vapeur Revêtement de surface Couches minces
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc

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