Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse

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Auteur principal: Pauleau, Yves, 1942-
Format: Livre papier
Langue:Français
Publié: Paris : Hermès science publ. : Lavoisier impr. 2004.
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LEADER 00928nam a22002417a 4500
001 213933
008 041004s2004 xxe ||| |||| 00| 0 fre d
009 PPN080748279
020 |a 2746209489 (br.) :  |c 95 EUR 
024 |a 9782746209480 
041 0 |a fre 
080 |a 620.19 
080 |a 621.793 
082 |a 620.44 
100 1 |a Pauleau, Yves,  |d 1942- 
245 1 0 |a Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse   |c Yves Pauleau. 
260 |a Paris :  |b Hermès science publ. :  |b Lavoisier,  |c impr. 2004. 
300 |a 1 vol. (415 p.) :  |b ill. ;  |c 24 cm. 
504 |a Bibliogr. p. [403]-411. Index 
650 |a Dépôt chimique en phase vapeur 
650 |a Revêtement de surface 
650 |a Couches minces 
997 |0 213933  |1 Livre papier  |a Ressource papier  |c 0/Orléans/  |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/  |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, F12349  |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, 671.7 PAU