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Lecture notes on principles of plasma processing

Lecture notes on principles of plasma processing

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書誌詳細
主要な著者:	Chen, Francis F., Chang, Jane P. (著者)
フォーマット:	Livre papier
言語:	Anglais
出版事項:	New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers cop. 2003.
主題:	Plasmas (gaz ionisés) Plasmas, Dynamique des Plasmachimie
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc

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