Lecture notes on principles of plasma processing

Gorde:
Xehetasun bibliografikoak
Egile Nagusiak: Chen, Francis F., Chang, Jane P. (Egilea)
Formatua: Livre papier
Hizkuntza:Anglais
Argitaratua: New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers cop. 2003.
Gaiak:
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
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100 1 |a Chen, Francis F. 
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260 |a New York :  |b Kluwer Academic/Plenum Publishers,  |c cop. 2003. 
300 |a IX-208 p. :  |b ill., couv. ill. en coul. ;  |c 28 cm +   |e 1 cédérom. 
650 |a Plasmas (gaz ionisés) 
650 |a Plasmas, Dynamique des 
650 |a Plasmachimie 
700 1 |a Chang, Jane P.  |4 aut 
997 |0 200656  |1 Livre papier  |a Ressource papier  |c 0/Orléans/  |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/  |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, C8096  |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, 530.44 CHE