Lecture notes on principles of plasma processing

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Päätekijät: Chen, Francis F., Chang, Jane P. (Tekijä)
Aineistotyyppi: Livre papier
Kieli:Anglais
Julkaistu: New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers cop. 2003.
Aiheet:
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
Kuvaus
Ulkoasu:IX-208 p. : ill., couv. ill. en coul. ; 28 cm + 1 cédérom.
ISBN:0306474972 (br.)