ETUDE DES DEPOTS CHIMIQUES A PARTIR DE LA PHASE GAZEUSE DE CARBURE ET DE NITRURE DE TITANE A TEMPERATURE MODEREE
DES CALCULS THERMODYNAMIQUES DANS LE CADRE DE LA NON-STCHIOMETRIE DU CARBURE ET DU NITRURE DE TITANE POUR LES SYSTEMES TI-C-H-CL ET TI-N-H-CL MONTRENT LA POSSIBILITE DE DEPOSER DU CARBURE ET DU NITRURE DE TITANE A TEMPERATURE MODEREE SOUS PRESSION REDUITE, PAR LA REDUCTION DU TETRACHLORURE DE TITANE...
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| Hlavní autor: | |
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| Další autoři: | |
| Médium: | Thèse et Mémoire papier |
| Jazyk: | Français |
| Vydáno: |
[S.l.] :
[s.n.]
1990.
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| Témata: | |
| Poznámka: |
1990ORLE2027 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | STUDY OF THE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF TITANIUM CARBIDE AND NITRIDE AT MODERATE TEMPERATURE |