Développement d'une source plasma haute-densité à couplage inductif améliorée par adjonction d'un noyau magnétique : application au dépôt de couches minces de carbone adamantin
Ce travail porte sur le développement d'une nouvelle source inductive permettant le dimensionnement vers un réacteur de grande surface. Nous avons pu montrer que l'adjonction d'un noyau magnétique permet d'accroître l'intensité de la composante radiale de l'induction ma...
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| Autor principal: | |
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| Altres autors: | |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Idioma: | Français |
| Publicat: |
[S.l.] :
[s.n.]
2002.
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| Matèries: | |
| Nota: |
Thèse confidentielle jusqu'en 2005 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Design of a high density magnetic core enhanced inductively coupled plasma source :, application to the growth od diamond-like carbon thin films |