Etude de la formation de films de nitrure de silicium par dépôts chimiques à partir de la phase vapeur : (C.V.D.)
Guardat en:
| Autor principal: | |
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| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Idioma: | Français |
| Publicat: |
[S.l.] :
[s.n.]
1977.
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| Matèries: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Descripció física: | n.p ; ? cm. |
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