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High density plasma sources : design, physics, and performance

High density plasma sources : design, physics, and performance

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Détails bibliographiques
Autres auteurs:	Popov, Oleg A. (Éditeur intellectuel)
Format:	Livre papier
Langue:	Anglais
Publié:	Park Ridge, N.J. : Noyes Publications cop. 1995.
Collection:	Materials science and process technology series
Sujets:	Plasmas (gaz ionisés) > densité Plasmas chauds
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc

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