High density plasma sources : design, physics, and performance

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Dettagli Bibliografici
Altri autori: Popov, Oleg A. (Redattore)
Natura: Livre papier
Lingua:Anglais
Pubblicazione: Park Ridge, N.J. : Noyes Publications cop. 1995.
Serie:Materials science and process technology series
Soggetti:
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
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245 0 0 |a High density plasma sources :  |b design, physics, and performance   |c edited by Oleg A. Popov. 
260 |a Park Ridge, N.J. :  |b Noyes Publications,  |c cop. 1995. 
300 |a 1 volume (xx-445 pages) :  |b illustrations ;  |c 25 cm. 
490 1 |a Materials science and process technology series 
504 |a Notes bibliographiques en fin de chapitres. Index 
650 |a Plasmas (gaz ionisés)  |x densité 
650 |a Plasmas chauds 
700 1 |a Popov, Oleg A.  |4 edt 
997 |0 180649  |1 Livre papier  |a Ressource papier  |c 0/Orléans/  |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/  |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, C6636