High density plasma sources : design, physics, and performance
Enregistré dans:
| Autres auteurs: | |
|---|---|
| Format: | Livre papier |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
Park Ridge, N.J. :
Noyes Publications
cop. 1995.
|
| Collection: | Materials science and process technology series
|
| Sujets: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Description matérielle: | 1 volume (xx-445 pages) : illustrations ; 25 cm. |
|---|---|
| Bibliographie: | Notes bibliographiques en fin de chapitres. Index |
| ISBN: | 0815513771 |