Pulvérisation cathodique magnétron à haute puissance (HiPIMS)
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| Formato: | Article de revue numérique |
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| Idioma: | Indéterminée |
| Publicado em: |
Techniques de l'ingénieur
2025.
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| Acesso em linha: | Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Nota: |
Techniques de l'ingénieur |
| Variante du titre: | Pulvérisation cathodique magnétron à haute puissance (HiPIMS) |