ALD en microélectronique : applications, équipements et productivité
Uloženo v:
| Médium: | Article de revue numérique |
|---|---|
| Jazyk: | Indéterminée |
| Vydáno: |
Techniques de l'ingénieur
2016.
|
| On-line přístup: | Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Poznámka: |
Techniques de l'ingénieur |
| Variante du titre: | ALD en microélectronique : applications, équipements et productivité |
| LEADER | 01103nam a22001457a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 1474301 | ||
| 008 | u2032 xxe ||| |||| 00| 0 und d | ||
| 041 | 0 | |a und | |
| 240 | 1 | 0 | |a ALD en microélectronique : applications, équipements et productivité |
| 245 | 0 | 0 | |a ALD en microélectronique : applications, équipements et productivité |c Gros-Jean , Mickael. |
| 260 | |b Techniques de l'ingénieur, |c 2016. | ||
| 500 | |a Techniques de l'ingénieur | ||
| 856 | 4 | |u https://ezproxy.univ-orleans.fr/login?url=https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/electronique-photonique-th13/microelectronique-dispositifs-technologies-et-circuits-42286210/ald-en-microelectronique-re255/ |z Accès Université d'Orléans | |
| 856 | 4 | |u https://ezproxy.insa-cvl.fr/login?qurl=https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/electronique-photonique-th13/microelectronique-dispositifs-technologies-et-circuits-42286210/ald-en-microelectronique-re255/ |z Accès INSA CVL | |
| 997 | |0 1474301 |1 Article de revue numérique |a Ressource numérique |b INSA |b ENSA |c 0/Bibliothèque numérique/ |c 1/Bibliothèque numérique/Autre ressource numérique/ | ||