ALD assistée par plasma (PEALD)
Enregistré dans:
| Format: | Article de revue numérique |
|---|---|
| Sprog: | Indéterminée |
| Udgivet: |
Techniques de l'ingénieur
2016.
|
| Online adgang: | Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Kommentar: |
Techniques de l'ingénieur |
| Variante du titre: | ALD assistée par plasma (PEALD) |
| LEADER | 00965nam a22001457a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 1473440 | ||
| 008 | u2032 xxe ||| |||| 00| 0 und d | ||
| 041 | 0 | |a und | |
| 240 | 1 | 0 | |a ALD assistée par plasma (PEALD) |
| 245 | 0 | 0 | |a ALD assistée par plasma (PEALD) |c Vallee , Christophe. |
| 260 | |b Techniques de l'ingénieur, |c 2016. | ||
| 500 | |a Techniques de l'ingénieur | ||
| 856 | 4 | |u https://ezproxy.univ-orleans.fr/login?url=https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/innovation-th10/innovations-en-materiaux-avances-42186210/ald-assistee-par-plasma-peald-re260/ |z Accès Université d'Orléans | |
| 856 | 4 | |u https://ezproxy.insa-cvl.fr/login?qurl=https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/innovation-th10/innovations-en-materiaux-avances-42186210/ald-assistee-par-plasma-peald-re260/ |z Accès INSA CVL | |
| 997 | |0 1473440 |1 Article de revue numérique |a Ressource numérique |b INSA |b ENSA |c 0/Bibliothèque numérique/ |c 1/Bibliothèque numérique/Autre ressource numérique/ | ||