Dépôt de films nanométriques en pulvérisation cathodique radiofréquence
Enregistré dans:
| Format: | Article de revue numérique |
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| Sprog: | Indéterminée |
| Udgivet: |
Techniques de l'ingénieur
2006.
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| Online adgang: | Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Kommentar: |
Techniques de l'ingénieur |
| Variante du titre: | Dépôt de films nanométriques en pulvérisation cathodique radiofréquence |