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Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS

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Bibliografiske detaljer
Format:	Article de revue numérique
Sprog:	Indéterminée
Udgivet:	Techniques de l'ingénieur 2012.
Online adgang:	Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL
Kommentar:	Techniques de l'ingénieur
Variante du titre:	Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS

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