Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS

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Detalles Bibliográficos
Formato: Article de revue numérique
Lenguaje:Indéterminée
Publicado: Techniques de l'ingénieur 2012.
Acceso en línea:Accès Université d'Orléans
Accès INSA CVL
Nota: Techniques de l'ingénieur
Variante du titre:Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS
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