Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD
Wedi'i Gadw mewn:
| Fformat: | Article de revue numérique |
|---|---|
| Iaith: | Indéterminée |
| Cyhoeddwyd: |
Techniques de l'ingénieur
2016.
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| Mynediad Ar-lein: | Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Nodyn: |
Techniques de l'ingénieur |
| Variante du titre: | Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD |
Eitemau Tebyg
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Chimie des précurseurs pour le procédé ALD
(Article de revue numérique)
Techniques de l'ingénieur, 2016 -
Réacteurs ALD
(Article de revue numérique)
Techniques de l'ingénieur, 2016 -
ALD pour les cellules photovoltaïques
(Article de revue numérique)
Techniques de l'ingénieur, 2016 -
A.L.D. 30
(Article ou chapitre numérique)
Tachon, Jean-Paul
, 2011 -
ALD assistée par plasma (PEALD)
(Article de revue numérique)
Techniques de l'ingénieur, 2016