Chimie en microélectronique
La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs sciences comme la physique, l'électronique, l'optique ou la mécanique, contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, l...
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Idioma: | Français |
| Publicat: |
Paris :
Hermes science : Lavoisier
2013.
Paris : Cyberlibris |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | Accès Université d'Orléans et IFPM Accès INSA CVL |
| Nota: |
Couverture. https://static2.cyberlibris.com/books_upload/136pix/9782746289185.jpg Cyberlibris (ScholarVox) corpus Sciences de l'ingénieur Cyberlibris (ScholarVox) corpus Sciences de l'ingénieur |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Chimie en microélectronique, sous la direction de Yannick Le Tiec, 2013, Paris, Hermes science, Lavoisier, 1 vol. (384 p.), Micro et nano électronique et systèmes, 978-2-7462-3918-0 |
Taula de continguts:
- Introduction
- Chapitre 1. La chimie en Front End Of the Line (FEOL) : dépôts, empilements de grilles, épitaxies et contacts
- Chapitre 2. La chimie dans les interconnexions
- Chapitre 3. Chimie de la préparation des surfaces par voie humide : nettoyage, attaque chimique et séchage
- Chapitre 4. Utilisation et gestion des fluides chimiques en microélectronique
- Chapitre 5. Fonctionnalisation des surfaces pour micros et nanosystèmes :application pour capteurs chimiques et biologiques
- 1.1. Introduction
- 1.2. Empilements de grilles
- 1.3. La chimie impliquée dans les matériaux cristallins
- 1.4. Les contacts au niveau de la grille et des zones Source et Drain
- 1.5. Conclusion
- 1.6. Bibliographie
- 2.1. Introduction
- 2.2. Interconnexions : généralités et historiques
- 2.3. Dépôts des diélectriques
- 2.4. Dépôt et propriétés des couches métalliques pour les structures d'interconnexions
- 2.5. Procédé de nettoyage des interconnexions cuivre
- 2.6. Conclusion
- 2.7. Bibliographie
- 3.1. Introduction
- 3.2. Nettoyage
- 3.3. Attaque chimique par voie humide
- 3.4. Rinçage et séchage
- 3.5 Conclusion
- 4.1. Eau ultrapure (EUP)
- 4.2. L'utilisation des gaz dans la microélectronique
- 4.3. Gaz dissous
- 4.4. Produits chimiques de haute pureté
- 4.5. Gestion des déchets
- 4.6. Notations
- 4.7. Bibliographie
- 5.1. Introduction
- 5.2. Matériaux
- 5.3. Procédé de fonctionnalisation
- 5.4. Immobilisation de molécules et macromolécules
- 5.5. Applications
- 5.6. Conclusion
- 5.7. Bibliographie