Chimie en microélectronique
La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs sciences comme la physique, l'électronique, l'optique ou la mécanique, contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, l...
Enregistré dans:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprog: | Français |
| Udgivet: |
Paris :
Hermes science : Lavoisier
2013.
Paris : Cyberlibris |
| Fag: | |
| Online adgang: | Accès Université d'Orléans et IFPM Accès INSA CVL |
| Kommentar: |
Couverture. https://static2.cyberlibris.com/books_upload/136pix/9782746289185.jpg Cyberlibris (ScholarVox) corpus Sciences de l'ingénieur Cyberlibris (ScholarVox) corpus Sciences de l'ingénieur |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Chimie en microélectronique, sous la direction de Yannick Le Tiec, 2013, Paris, Hermes science, Lavoisier, 1 vol. (384 p.), Micro et nano électronique et systèmes, 978-2-7462-3918-0 |
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| 100 | 1 | |a Le Tiec, Yannick, |d 19..-...., |c auteur en sciece des matériaux. | |
| 245 | 1 | 0 | |a Chimie en microélectronique |c sous la direction de Yannick Le Tiec. |
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| 500 | |a Couverture. https://static2.cyberlibris.com/books_upload/136pix/9782746289185.jpg | ||
| 500 | |a Cyberlibris (ScholarVox) corpus Sciences de l'ingénieur | ||
| 500 | |a Cyberlibris (ScholarVox) corpus Sciences de l'ingénieur | ||
| 504 | |a Bibliogr. en fin de chapitres. Index | ||
| 505 | 0 | |a Introduction -- Chapitre 1. La chimie en Front End Of the Line (FEOL) : dépôts, empilements de grilles, épitaxies et contacts -- Chapitre 2. La chimie dans les interconnexions -- Chapitre 3. Chimie de la préparation des surfaces par voie humide : nettoyage, attaque chimique et séchage -- Chapitre 4. Utilisation et gestion des fluides chimiques en microélectronique -- Chapitre 5. Fonctionnalisation des surfaces pour micros et nanosystèmes :application pour capteurs chimiques et biologiques -- 1.1. Introduction -- 1.2. Empilements de grilles -- 1.3. La chimie impliquée dans les matériaux cristallins -- 1.4. Les contacts au niveau de la grille et des zones Source et Drain -- 1.5. Conclusion -- 1.6. Bibliographie -- 2.1. Introduction -- 2.2. Interconnexions : généralités et historiques -- 2.3. Dépôts des diélectriques -- 2.4. Dépôt et propriétés des couches métalliques pour les structures d'interconnexions -- 2.5. Procédé de nettoyage des interconnexions cuivre -- 2.6. Conclusion -- 2.7. Bibliographie -- 3.1. Introduction -- 3.2. Nettoyage -- 3.3. Attaque chimique par voie humide -- 3.4. Rinçage et séchage -- 3.5 Conclusion -- 4.1. Eau ultrapure (EUP) -- 4.2. L'utilisation des gaz dans la microélectronique -- 4.3. Gaz dissous -- 4.4. Produits chimiques de haute pureté -- 4.5. Gestion des déchets -- 4.6. Notations -- 4.7. Bibliographie -- 5.1. Introduction -- 5.2. Matériaux -- 5.3. Procédé de fonctionnalisation -- 5.4. Immobilisation de molécules et macromolécules -- 5.5. Applications -- 5.6. Conclusion -- 5.7. Bibliographie | |
| 506 | |a L'accès en ligne est réservé aux établissements ou bibliothèques ayant souscrit l'abonnement. Cyberlibris | ||
| 520 | |a La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs sciences comme la physique, l'électronique, l'optique ou la mécanique, contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, la pureté des fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions chimiques et de leurs équilibres ainsi que la préparation de surfaces optimisées et la gravure sélective de couches spécifiques. Au cours des dernières décennies, la taille des transistors s'est considérablement réduite et la fonctionnalité des circuits électroniques s'est accrue. Cette évolution a conduit à une interpénétration de la chimie et de la microélectronique exposée dans cet ouvrage. Chimie en microélectronique présente les chimies et les séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu'aux gravures des plaquettes de silicium, du rôle et de l'impact de leur niveau de pureté jusqu'aux procédés d'interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Afin d'illustrer la convergence avec le domaine de la santé, l'ouvrage expose les nouvelles fonctionnalisations spécifiques, tels que les capteurs biologiques ou les capteurs sur la personne | ||
| 650 | |a Chimie des surfaces | ||
| 650 | |a Transistors | ||
| 650 | |a Microélectronique |x Matériaux | ||
| 650 | |a Microélectronique |x Chimie | ||
| 650 | |a Traitements de surface |x Chimie | ||
| 650 | |a Procédés de fabrication | ||
| 650 | |a Détecteurs de produits chimiques | ||
| 650 | |a Biocapteurs | ||
| 650 | |a Nitruration | ||
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