Reinhardt, K. A. (2018). Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology. Elsevier Science.
Style de citation Chicago (17e éd.)Reinhardt, Karen A. Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology. San Diego: Elsevier Science, 2018.
Style de citation MLA (8e éd.)Reinhardt, Karen A. Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology. Elsevier Science, 2018.
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